關(guān)鍵結(jié)構(gòu)與功能

1. 晶圓專用樣品臺(tái)：真空吸附固定，支持6–12英寸（300mm），可360°旋轉(zhuǎn)+XY矩陣多點(diǎn)（幾十點(diǎn)位）自動(dòng)測(cè)量

2. 高精度滴液系統(tǒng)：最小液滴0.1μL甚至nL級(jí)，防污染可拋針頭

3. 光學(xué)與算法：冷光源避免蒸發(fā)，測(cè)量精度±0.1°~±0.2°，支持靜態(tài)/動(dòng)態(tài)（前進(jìn)/后退角）、表面自由能計(jì)算

4. 潔凈環(huán)境兼容：部分機(jī)型可配氮?dú)馐痔紫?Class 100級(jí)潔凈室適配

典型應(yīng)用場(chǎng)景

- 清洗工藝驗(yàn)證（去除有機(jī)物/顆粒后接觸角應(yīng)顯著下降）

- 光刻膠涂布前表面處理（親水/疏水調(diào)控保證涂覆均勻）

- 晶圓鍵合、薄膜沉積的表面質(zhì)量監(jiān)控

- 研發(fā)中表面改性（等離子體、UV、自組裝膜）效果評(píng)估

主流機(jī)型示例

1. 福佰特（國(guó)產(chǎn)）：6–12寸，矩陣50+點(diǎn)位全自動(dòng)

2. Kruss Theta Flow Wafer：全自動(dòng)，可拋滴頭，300mm晶圓兼容

3. 日本協(xié)和DMo-902WA：12英寸，全流程自動(dòng)化，±0.2°精度

設(shè)備特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

 1.軟硬件研發(fā)：軟硬件自主研發(fā)，與華南理工深度合作，深度客制化。

 2.測(cè)量精度：具備雙邊接觸角測(cè)量快速擬合功能，更全面量分析液體與固體的表面潤(rùn)濕性能、更準(zhǔn)確的分析表面的實(shí)際潤(rùn)濕性。

 3.動(dòng)態(tài)接觸角擬合：批量截圖擬合、視頻連續(xù)自動(dòng)擬合、自動(dòng)在線實(shí)時(shí)擬合

 4.分析方法：國(guó)內(nèi)***的接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)擬合法（一鍵自動(dòng)擬合，不存在人工誤差）包括：圓法擬合、橢圓/斜 橢圓擬合法 、Young-lapalace擬合、微分圓法/微分橢圓法

 5.操作便捷：電腦控制（菜單可保存）自動(dòng)測(cè)量，一鍵導(dǎo)出報(bào)告。

水接觸角的表征意義

在材料表征中，水接觸角實(shí)驗(yàn)是一種重要的表面分析技術(shù)，它通過(guò)測(cè)量水滴在材料表面的接觸角來(lái)評(píng)估材料表面的潤(rùn)濕性。其表征意義主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

1. 評(píng)估表面親水性和疏水性

水接觸角是衡量材料表面親水性或疏水性的關(guān)鍵指標(biāo)。接觸角越小，表明材料表面越親水；接觸角越大，表明材料表面越疏水。例如：

- 親水性表面：接觸角小于90°，液體在表面上容易鋪展。

- 疏水性表面：接觸角大于90°，液體在表面上難以鋪展，形成較大的水滴。

- 超疏水表面：接觸角大于150°，液體在表面上幾乎不鋪展，形成非常圓的水滴。

2. 表征表面改性效果

評(píng)估表面改性技術(shù)的效果。通過(guò)對(duì)比改性前后的接觸角變化，可以判斷表面改性是否成功以及改性的效果。

3. 研究表面化學(xué)性質(zhì)

接觸角實(shí)驗(yàn)可以提供材料表面化學(xué)性質(zhì)的信息。表面化學(xué)性質(zhì)的變化會(huì)影響液體在表面的鋪展行為。

- 表面能：接觸角與表面能密切相關(guān)，通過(guò)接觸角實(shí)驗(yàn)可以間接推斷材料表面的表面能。

- 表面官能團(tuán)：表面官能團(tuán)的種類和分布會(huì)影響接觸角。例如，含有羥基（-OH）的表面通常具有較高的親水性，而含有氟化物（-F）的表面通常具有較高的疏水性。

4. 評(píng)估生物相容性

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，材料的表面潤(rùn)濕性對(duì)細(xì)胞粘附、生長(zhǎng)和組織整合有重要影響。親水性表面通常更有利于細(xì)胞粘附和生長(zhǎng)，而疏水性表面則可能抑制細(xì)胞粘附。

5. 指導(dǎo)材料設(shè)計(jì)和優(yōu)化

例如：

- 防水材料：設(shè)計(jì)具有高疏水性的材料，用于防水涂層或防水織物。

- 防污材料：設(shè)計(jì)具有低表面能的疏水性表面，減少污染物的附著。

6. 質(zhì)量控制和標(biāo)準(zhǔn)化

在工業(yè)生產(chǎn)中，接觸角實(shí)驗(yàn)可以用于質(zhì)量控制和標(biāo)準(zhǔn)化。通過(guò)定期測(cè)量接觸角，可以確保生產(chǎn)過(guò)程中的表面處理和涂層技術(shù)的一致性和穩(wěn)定性。

7. 研究表面微觀結(jié)構(gòu)

接觸角實(shí)驗(yàn)還可以提供表面微觀結(jié)構(gòu)的信息。表面的微觀結(jié)構(gòu)，如粗糙度和孔隙率，會(huì)影響液體在表面的鋪展行為。

8. 評(píng)估表面污染和清潔度

接觸角實(shí)驗(yàn)可以用于評(píng)估材料表面的污染和清潔度。表面污染通常會(huì)導(dǎo)致接觸角的變化，通過(guò)測(cè)量接觸角可以判斷表面是否被污染。

9. 研究表面穩(wěn)定性

接觸角實(shí)驗(yàn)可以用于研究材料表面在不同環(huán)境條件下的穩(wěn)定性。

10. 指導(dǎo)涂層技術(shù)開(kāi)發(fā)

在涂層技術(shù)開(kāi)發(fā)中，接觸角實(shí)驗(yàn)可以用于指導(dǎo)涂層配方和工藝的優(yōu)化。通過(guò)測(cè)量不同配方和工藝條件下的接觸角，可以找到的涂層方案。